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真空搬送ロボット(半導体 搬送) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

真空搬送ロボットの製品一覧

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【カタログ無料進呈】『半導体ウェハー・ガラス基板搬送用ロボット』

<高精度・高速性・高剛性>大気、真空用あらゆるサイズの仕様を取り揃えております!

当カタログは、半導体ウェハー及びガラス基板搬送用ロボットの専門メーカー株式会社アイテックの製品カタログです。 「ウエハー真空搬送ロボット(~450mm)」をはじめ、「GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)」や、 「GLASS大気搬送ロボット(~G4世代)」などを掲載しております。 【掲載内容】 ■ウエハー真空搬送ロボット(~450mm) ■ウエハー大気搬送ロボット(~450mm) ■GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代) ■GLASS真空搬送ロボット(G5.5-G8.5世代) ■GLASS大気搬送ロボット(~G4世代) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他産業用ロボット
  • ウエハー
  • 真空搬送ロボット

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真空搬送ロボット

クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。【アルバック/ULVAC】

真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。 各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。 【ラインナップ】 ○高真空対応ロボットELEC-RZ(φ200mm/300mm ウェーハ対応) ○高真空対応ロボットCOVOT(φ200mm/300mm ウェーハ対応) ○高真空対応ロボットCOVOT-LC(φ200mm/300mm ウェーハ対応) ○中真空対応独立4本アームロボットCOVOT-6(φ300mm ウェーハ対応) ○真空搬送プラットフォームNCH シリーズ(φ200mm/300mm ウェーハ対応) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • 真空搬送ロボット

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